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人們通常把能夠從密閉容器中排出氣體或使容器中的氣體分子數目不斷減少的設備，稱為真空獲得設備或真空泵。高真空度真空泵目前在真空技術中，采用各種不同的方法，已經能夠獲得和測量從大氣壓力105Pa到10-13Pa，寬達18個數量級的壓力范圍。

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在真空獲得技術中，目前用以獲得真空的技術方法有兩種，一種是通過高真空度真空泵的運動把氣體直接從密閉容器中排出。另一種是通過物理、化學等方法將氣體分子吸附或冷凝在低溫表面上。利用這兩種方法所制造的各種真空泵種類較多，分類方法各異，但是，常用的方法還是按真空泵的工作原理或其結構特點加以分類。

真空泵的分類按真空泵的工作原理，高真空度真空泵基本上可以分為兩種類型，即氣體傳輸泵和氣體捕集泵。隨著真空應用技術在生產和科學研究領域中對其應用壓強范圍的要求越來越寬，大多需要由幾種真空泵組成真空泵機組抽氣系統(tǒng)共同抽氣后才能滿足生產和科學研究過程的要求，因此選用不同類型真空泵組成的真空泵機組進行抽氣的情況較多。為了方便起見，將這些高真空度真空泵按其工作原理或其結構特點進行一些具體的詳細的分類是必要的。

三級羅茨水環(huán)真空泵機組

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