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2013年止，真空行業(yè)使用的大多數(shù)機(jī)械真空泵都是用油、水或其它聚合物等流體充當(dāng)泵的工作介質(zhì)，在泵內(nèi)起冷卻、密封、潤滑等多種作用。隨著科學(xué)技術(shù)的發(fā)展以及真空應(yīng)用領(lǐng)域的擴(kuò)大，原有的機(jī)械真空泵及其組成的抽氣系統(tǒng)逐漸被干式螺桿真空泵所替代。

非耀無油螺桿真空泵

機(jī)械真空泵及其組成的抽氣系統(tǒng)面臨著兩個急需解決問題：一是泵的工作介質(zhì)返流污染被抽容器，而這種返流在許多情況下影響產(chǎn)品的質(zhì)量、數(shù)量，增加設(shè)備的維護(hù)成本。其次，由于某些工藝過程中的反應(yīng)物質(zhì)使真空泵內(nèi)的介質(zhì)嚴(yán)重變質(zhì)，使泵不能正常工作。然而以上這些問題，對于干式螺桿真空泵來說都不算問題。

干式螺桿真空泵具備抽速大、結(jié)構(gòu)簡單緊湊、抽氣腔元件無摩擦、壽命長、能耗低、無油無水環(huán)保節(jié)能等優(yōu)點。干式無油螺桿真空泵由于其優(yōu)越的性能，在微電子、半導(dǎo)體、制藥等行業(yè)得到大家的認(rèn)可。

無油變螺距螺桿真空泵溶劑回收機(jī)組用在醫(yī)藥中間體生產(chǎn)抽真空

對于普通的無油真空系統(tǒng)來說，雖然可用油封式真空泵加上冷阱或吸附阱之類附件來防止返流，但不能完全解決問題，而且使系統(tǒng)顯得復(fù)雜。而使用適當(dāng)型式的干式螺桿真空泵，則可以達(dá)到理想的使用效果。