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      螺桿真空泵是通過泵腔內(nèi)一對作等速反向旋轉(zhuǎn)螺桿的作用，吸入并排出被抽氣體而形成高真空。無油螺桿真空泵螺桿輪廓型線是由阿基米德螺旋線和擺線曲線及圓弧等構(gòu)成。

非耀螺桿真空泵

      在螺桿旋轉(zhuǎn)時(shí)，二個(gè)螺桿之間、螺桿和無油螺桿真空泵泵體之間都保持一定的間隙且互不接觸，因而運(yùn)轉(zhuǎn)時(shí)泵的摩擦損失很小，摩擦消耗功率小，且可以實(shí)現(xiàn)高轉(zhuǎn)速運(yùn)轉(zhuǎn)，被抽氣體被平順地壓送到排氣口并排至泵外。通過泵二側(cè)的密封機(jī)構(gòu)確保齒輪箱內(nèi)的潤滑油無法進(jìn)入泵的吸氣腔內(nèi)。泵與電機(jī)均為臥式結(jié)構(gòu)，泵采用聯(lián)軸器與電機(jī)直聯(lián)，整機(jī)安裝在同一機(jī)架上。為了減少泵的排氣噪聲，泵的排氣口裝有消聲器。

      無油螺桿真空泵的應(yīng)用是廣泛的，主要有以下幾個(gè)方面：

      1、低壓化學(xué)氣相沉積中的多晶硅制備工藝中；

      2、半導(dǎo)體刻蝕工藝。在這些生產(chǎn)工藝中往往用到或生成腐蝕性氣體和研磨微粒；

      3、除半導(dǎo)體工藝外的某些產(chǎn)生微粒的工藝，不希望微粒混入泵油中，而希望微粒排出泵外，則用一定型式的干式真空泵可以滿足要求；

      4、在化學(xué)工業(yè)、醫(yī)藥工業(yè)、食品工業(yè)中的蒸餾、干燥、脫泡、包裝等，要防止溶劑造成污染，適合用無油螺桿真空泵；

      5、用做一般無油清潔真空系統(tǒng)的前級(jí)泵，以防止油污染。

無油螺桿真空泵用在化工減壓蒸餾

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