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隨著干式真空泵在半導(dǎo)體行業(yè)應(yīng)用的成功，也刺激了干式真空泵在化工行業(yè)的應(yīng)用，特別是不存在廢液處理問題，大大降低了使用成本。那么化學(xué)工業(yè)怎么選擇干式真空泵呢？先來了解一下干式真空泵類型都有哪些吧。

一、羅茨型干式真空泵

羅茨型干式真空泵是化工行業(yè)廣泛使用的一種較大的干式真空泵。該泵是由三層三葉型羅茨轉(zhuǎn)子串聯(lián)而成，它們安裝在同一根軸線上，各個轉(zhuǎn)子之間由中段隔開，形成各個級別的泵腔，上面的排氣口與下面的進氣口串聯(lián)進行抽氣。

二、干爪泵

爪式泵轉(zhuǎn)子具有高壓高壓縮比的特點。爪式轉(zhuǎn)子還有兩種功能：一種是用于截獲、輸送和壓縮氣體，另一種類似于閥門，用于在適當(dāng)?shù)臅r候開啟和關(guān)閉吸氣和排氣。

三、干式螺桿真空泵

干式螺桿泵具有抽速范圍寬，結(jié)構(gòu)簡單緊湊，泵腔內(nèi)無摩擦組件，能耗低，無廢液排放，操作成本低等諸多優(yōu)點，被廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體、光電、化工、醫(yī)藥、石化、空間模擬、低壓風(fēng)洞等領(lǐng)域。

螺桿式真空泵相對于其他真空泵，抽氣距離短，不受干擾，能快速排出，從而使泵中的微粒雜質(zhì)不易積聚。適用于抽除腐蝕性或危險氣體，但其性能非常優(yōu)越，運行費用較低，不會產(chǎn)生廢液，既節(jié)能又環(huán)保。