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山東螺桿真空泵在真空泵行業(yè)中是較好的產(chǎn)品，在工廠上也是隨處可見。無油螺桿真空泵的工作效率高，且干式螺桿真空泵的功能較全。那么螺桿真空泵具體的功能特性有哪些呢？

山東螺桿真空泵乃是利用一對互相咬合的螺旋轉(zhuǎn)子，在轉(zhuǎn)子間維持微小的間隙，使得真空泵運轉(zhuǎn)時腔體內(nèi)無需潤滑，因而無油氣回漏污染的問題。透過轉(zhuǎn)子線形良好的密封效果，壓力高。螺桿真空泵由于排氣路徑短，粉塵移除能力較其他型式的真空泵強，加上轉(zhuǎn)子表面披覆特殊材質(zhì)的鍍膜，因此可適用于PECVD、Etching等嚴(yán)苛制程。

山東螺桿真空泵承襲上一代真空泵優(yōu)良的轉(zhuǎn)子設(shè)計，同時改良?xì)んw的冷卻方式，采用水套間接水冷的方式來降低殼體的溫度，能夠更準(zhǔn)確地控制螺桿泵浦內(nèi)部溫度，減少沉積物的產(chǎn)生，增加螺桿泵的壽命。

山東螺桿真空泵亦可配備微電腦控制器，可同時監(jiān)控電機電流、電機溫度、殼體溫度、冷卻水流量、氮氣流量，十分適用于光電、半導(dǎo)體、太陽能與TFT-LCD等產(chǎn)品穩(wěn)定性要求較高之產(chǎn)業(yè)。如果您也有這方面的需求，歡迎致電非耀咨詢。