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羅茨真空泵一般采用真空單元的形式，因?yàn)槠胀_茨泵在正常壓力和高壓下不能啟動和直排大氣，所以需要配備前泵。但不是所有的羅茨真空泵都需要啟動前級泵，例如氣冷羅茨真空泵。

非耀氣冷羅茨真空泵

普通羅茨真空泵需要在6000Pa甚至更低的壓力下才能啟動，在1333Pa?1Pa之間開始具有穩(wěn)定的大抽速。因?yàn)榱_茨真空泵沒有內(nèi)部壓縮特性，它是通過氣體排放形式的外部壓縮實(shí)現(xiàn)的。過高的壓力和高壓作業(yè)會使真空泵負(fù)載過高，使得轉(zhuǎn)子在壓縮過程中不能太大的散熱，會產(chǎn)生過大的膨脹，導(dǎo)致轉(zhuǎn)子與泵腔之間的間隙消失了，那就是卡住了。為了解決這個(gè)問題，氣冷羅茨真空泵使用冷卻氣直接冷卻轉(zhuǎn)子方式降低轉(zhuǎn)子溫度和泵腔之間的溫差，以避免轉(zhuǎn)子過度膨脹實(shí)現(xiàn)高壓和高壓縮比運(yùn)行，因此它可以單獨(dú)在大氣壓下使用，也可以用于增加多個(gè)串聯(lián)單元的真空度。

氣冷羅茨真空泵和普通羅茨真空泵的結(jié)構(gòu)原理沒有太大的區(qū)別。主要在泵出口設(shè)置連接的冷卻器，并在泵的兩側(cè)引入冷卻氣體以冷卻轉(zhuǎn)子。這種結(jié)構(gòu)，羅茨真空泵的實(shí)現(xiàn)可以在大氣壓力下直接啟動，獨(dú)立工作。獨(dú)立直風(fēng)，氣冷式羅茨真空泵壓泵約1×104Pa，串聯(lián)可得到下限壓力，工作壓力可達(dá)88kPa。

非耀氣冷羅茨真空泵不僅可以直接在大氣壓下工作，而且在高壓段具有穩(wěn)定的泵送速度曲線，可大大縮短抽氣階段的抽氣時(shí)間。與其他直氣密封泵相比，泵送速度大，且具有在高壓條件下具有良好的節(jié)能特點(diǎn)。