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氣冷式羅茨真空泵利用兩個8字形轉(zhuǎn)子在泵殼內(nèi)旋轉(zhuǎn),產(chǎn)生吸排氣效果。由于在低壓范圍內(nèi)工作,氣體分子自由度大,氣體通過小間隙阻力大,可獲得較高的壓縮比,氣冷羅茨真空泵可用作增壓真空泵。
非耀氣冷式羅茨真空泵
羅茨式真空泵根據(jù)泵體結(jié)構(gòu)可分為兩類:一類為普通型,另一類為直排大氣型。除結(jié)構(gòu)外,主要區(qū)別是普通羅茨泵不能單獨(dú)將氣體直接排入大氣,需要與前真空泵串聯(lián)使用,通過前真空泵將氣體排入大氣。后者即氣冷羅茨真空泵可以直接將被抽氣體排入大氣。普通羅茨泵可分為普通泵和帶旁通閥泵。當(dāng)壓差超過各規(guī)格泵的規(guī)定值時,旁通閥自動打開,泵出口的氣體通過旁通閥返回進(jìn)口,使泵安全運(yùn)行。由于羅茨泵的轉(zhuǎn)子受力面積大,在壓差大的情況下運(yùn)行,泵的負(fù)荷會變得很大。
氣冷羅茨真空泵的工作原理:工作時,泵送的氣體從進(jìn)氣口進(jìn)入轉(zhuǎn)子和泵體之間。此時,一個轉(zhuǎn)子和泵體將氣體與進(jìn)氣口分開,分離的氣體沒有壓縮和膨脹,但當(dāng)轉(zhuǎn)子的峰值轉(zhuǎn)向排氣口邊緣時,由于部分的壓力低于排氣口。為了使相連體積內(nèi)的壓力均勻,氣體會從排氣口擴(kuò)散,其擴(kuò)散方向與轉(zhuǎn)子旋轉(zhuǎn)方向相反。當(dāng)轉(zhuǎn)子再次旋轉(zhuǎn)時,將轉(zhuǎn)子再次旋轉(zhuǎn)。氣體壓縮到排氣口排出。此時,轉(zhuǎn)子的另一側(cè)與進(jìn)氣口的連接部分吸入氣體。當(dāng)轉(zhuǎn)子不斷旋轉(zhuǎn)時,上述抽氣過程不斷排出氣體。這個工作過程相當(dāng)于將轉(zhuǎn)子空間從小值增加到大值,然后從大值減少到小值。這就是氣冷羅茨真空泵的工作原理。
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