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干式真空泵是指泵能從大氣壓力下開始抽氣,又能將被抽氣體直接排到大氣中去,泵腔內(nèi)無油無水,而且泵的及限壓力與油封式真空泵同等量級或者接近機械真空泵,那么螺桿真空泵的應用范圍都包含。
使用螺桿泵在一些特殊環(huán)境下,能夠達到非常好的效果,那么螺桿真空泵的應用范圍有哪些方面呢?
(1)螺桿泵適合用于化學工業(yè)、醫(yī)藥工業(yè)、食品工業(yè)中的蒸餾、干燥、脫泡、包裝等,防止有.機溶劑造成污染;
(2)低壓化學氣相沉積中的多晶硅制備工藝;
(3)半導體的刻蝕工藝,這些生產(chǎn)工藝往往用到腐蝕性氣體和研磨微粒;
(4)除半導體工藝外的某些產(chǎn)生微粒的工藝,在這些工藝中,不希望微?;烊胗捅弥?,而是排出泵外,用干式真空泵可以解決;
(5)用做一般無油清潔真空系統(tǒng)的前級泵,以防止油污染。
以上介紹了關于螺桿真空泵的應用范圍,真空市場真空泵型號多樣,供用戶選擇的廠家和設備類型多,只是小編在此需要提醒大家的是,無論是選擇哪家真空泵供應商合作,選擇哪一款設備使用,前提都需要對設備進行專.業(yè)的分析,確保適合自身工況環(huán)境,能夠發(fā)揮設備性能。