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羅茨真空泵應(yīng)用在清潔或腐蝕性工藝中，比如半導(dǎo)體、LCD、光伏太陽(yáng)能電池以及某些工況條件非?？量痰幕ば袠I(yè)，大都是采用羅茨真空泵與干式真空泵所組成的羅茨真空泵真空機(jī)組，一方面可以提高真空機(jī)組的抽速，另外真空系統(tǒng)的真空值亦可以提高一個(gè)數(shù)量級(jí)。

根據(jù)羅茨泵的抽氣機(jī)制，由于它既不需要潤(rùn)滑亦不需要密封介質(zhì)，從原則上來(lái)說(shuō)應(yīng)該是無(wú)油的。但是羅茨真空泵的轉(zhuǎn)子需要由軸承來(lái)支撐和精.密的同步齒輪來(lái)傳動(dòng)。這些軸承和齒輪均需要潤(rùn)滑油。當(dāng)羅茨真空泵應(yīng)用在抽除腐蝕性氣體或蒸汽時(shí)，真空泵潤(rùn)滑油亦會(huì)受到侵蝕。

目前羅茨真空泵應(yīng)用越來(lái)越廣泛，也使得真空泵行業(yè)的發(fā)展更加迅速，真空泵生產(chǎn)廠家增多，產(chǎn)品質(zhì)量參差不齊。杭州非耀真空泵廠家生產(chǎn)的羅茨真空泵，運(yùn)行穩(wěn)定，使用20000小時(shí)無(wú)故障，免維修，降低使用成本，提高收益。