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羅茨真空機組中常用水環(huán)真空泵作為前級泵使用，作用主要是造成羅茨泵所需的預(yù)備真空，對于一般情況而言，水環(huán)真空泵真空度不高，而我國生產(chǎn)的羅茨泵要求的預(yù)真空又比較高，因此實際上我們一般不用單級水環(huán)真空泵作為羅茨真空泵機組的前級泵，而是采用了壓力較低的雙級水環(huán)真空泵作為前級泵使用，這樣還可以降低機組的壓力。

三級羅茨真空泵機組

一臺羅茨泵與一臺水環(huán)真空泵的壓力是267Pa，這可以滿足一般的真空需求，但它使用的范圍會受到一定的限制，如果用兩臺羅茨泵串聯(lián)再與水環(huán)真空泵組合，就可以大大提高羅茨真空泵機組的壓力（可以達到25Pa）。因此在這種類型里通常見到的是兩臺羅茨泵串聯(lián)后再用雙級泵作前級泵組成機組。如果需要更高的壓力，可以使用三臺羅茨泵與水環(huán)真空泵組合，它的壓力可以達到1Pa。

倘若三級羅茨泵水環(huán)真空泵機組還是不能滿足壓力的時候，我們可以采用螺桿真空泵并聯(lián)羅茨真空泵。這個羅茨真空泵機組主要用于真空度要求非常高的抽真空系統(tǒng)，比如在真空干燥方面。

羅茨水環(huán)真空泵機組用在真空干燥工藝

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