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在選擇前級泵時,也要考慮羅茨真空泵機組的壓力要求,真空度較高時一般選擇無油螺桿真空泵作為前級泵。要求真空度在133 Pa 到 1333 Pa之間時,可以選擇水環(huán)真空泵作為前級泵。
羅茨真空泵機組的前級泵選用水環(huán)真空泵時,前級泵的抽速一般為羅茨真空泵的1/2-1/4,不宜過大,否則壓縮比會過大,導致羅茨真空泵排氣溫度高,無法正常工作。在選擇羅茨真空泵機組前級泵時,還需要考慮泵送氣體中是否有腐蝕性介質(zhì),是否含有可凝性氣體,是大量還是少量。如果含有腐蝕性氣體,不能選用油封機械泵,也不適合抽出含有大量可凝蒸汽的氣體,否則密封液會迅速乳化。抽出含有少量可凝蒸汽的氣體時,還需要使用帶氣體鎮(zhèn)流裝置的油封機械泵作為前級泵。
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