熱門關(guān)鍵詞: 水環(huán)真空泵 旋片式真空泵 杭州真空設(shè)備 真空設(shè)備廠
半導(dǎo)體行業(yè)的發(fā)展迅速,目前,中國(guó)有全球規(guī)模的,且增長(zhǎng)迅速的集成電路消費(fèi)市場(chǎng),這也離不開(kāi)中國(guó)消費(fèi)市場(chǎng)和國(guó)家對(duì)產(chǎn)業(yè)政策扶持,國(guó)內(nèi)集成電路制造企業(yè)也加大建廠投資,因此,憑借螺桿泵優(yōu)勢(shì)其設(shè)備又火了起來(lái)。
螺桿泵優(yōu)勢(shì)是成為了半導(dǎo)體各制程中需要通用設(shè)備的關(guān)鍵,應(yīng)用于單晶拉晶、測(cè)試等清潔或嚴(yán)苛制程。半導(dǎo)體產(chǎn)品制造過(guò)程中所需的真空系統(tǒng),具備抽除腐蝕性氣體、粉塵顆粒物、有毒氣體等功能,因此干式螺桿真空泵是非常好的選擇。
干式真空泵應(yīng)用于半導(dǎo)體行業(yè)的關(guān)鍵優(yōu)勢(shì)在于:解決了工藝過(guò)程污染油或油搭載進(jìn)入尾氣處理系統(tǒng)的風(fēng)險(xiǎn);不會(huì)產(chǎn)生廢物、或者污染寶貴的溶劑、產(chǎn)品或環(huán)境;它是完全干燥的,對(duì)上下游工藝沒(méi)有任何污染;干式真空泵中不會(huì)發(fā)生任何腐蝕;效率更高,耗電更少;吸入的溶劑或其他有用的成分可以在泵的出口直接回收。
非耀螺桿真空泵還具有,真空度≤5Pa,抽氣速度快百分之30,20000小時(shí)無(wú)故障運(yùn)行,環(huán)保0煩惱。以上是非耀螺桿泵用于半導(dǎo)體行業(yè)的簡(jiǎn)單介紹,也了解了螺桿泵優(yōu)勢(shì)特點(diǎn),如您需要了解更多,請(qǐng)聯(lián)系非耀在線客服人員。
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