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真空泵其實(shí)有多種不一樣的類型，選擇不同的類型，也就會(huì)有不一樣的作用，所以是應(yīng)該要讓自己能夠先去了解了，這一點(diǎn)都是很有必要的一件事情。干式真空泵由于其優(yōu)越的性能，目前已成為電子行業(yè)、半導(dǎo)體、制藥、精加工等行業(yè)優(yōu)選的真空采集設(shè)備。那么干式真空泵有哪幾種類型呢？下面非耀真空泵廠家小編就來(lái)帶大家了解一下。

非耀干式無(wú)油螺桿真空泵

一、雙圓裂片式。雙圓裂片式的多級(jí)設(shè)計(jì)使得氣體通路相當(dāng)復(fù)雜，并且每一及都需要較大流量的氮?dú)馄鸬较♂尯透綦x作用。同時(shí)，為了達(dá)到好的真空度，對(duì)各級(jí)的間隙有非常嚴(yán)格的要求。當(dāng)然，這種干式真空泵設(shè)計(jì)由于增加了內(nèi)部的壓縮比而使得其耗電量相對(duì)較低。

二、三葉圓裂片式。三葉圓裂片式設(shè)計(jì)和上述形式設(shè)計(jì)的原理相同，只是在旋轉(zhuǎn)一圈中將氣體分為三份而不是像雙圓裂片式分為兩份。為了進(jìn)一步降低耗電量，在傳動(dòng)部分有的廠家選用兩個(gè)直流馬達(dá)，但這也會(huì)導(dǎo)致扭矩減小，重新啟動(dòng)的能力—下降。

三、組合式（羅茨+爪）。組合式（羅茨+爪）設(shè)計(jì)用羅茨來(lái)提高在較低壓力下的抽氣效率，用爪來(lái)提高在較高壓力下的抽氣效率。它的基本原理和氣體通路同前面介紹的圓裂片式設(shè)計(jì)相同。也有些廠家將這種干式真空泵其改為星型設(shè)計(jì)，這樣可以在旋轉(zhuǎn)一圈中將氣體分為五份，就像三圓裂片式設(shè)計(jì)可以將其分為三份。

四、壓縮型螺桿式。在壓縮型干式螺桿真空泵設(shè)計(jì)中，使用一對(duì)等距螺桿。

螺桿間容積的不斷減小使得其內(nèi)部產(chǎn)生壓縮，同時(shí)使得氣體通路簡(jiǎn)單。這樣，氣體在泵體內(nèi)停留的時(shí)間也短。這種干式真空泵設(shè)計(jì)在復(fù)雜的半導(dǎo)體工藝中表現(xiàn)出的穩(wěn)定性非常強(qiáng)。