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因?yàn)榭臻g模仿設(shè)備其被抽容器的容積從幾千立方米到幾萬(wàn)立方米，真空度改變從幾萬(wàn)Pa 到幾個(gè)Pa，并且被抽氣體中含有很多的水蒸氣或部分氮氧化物，所以這種真空體系首先遇到問(wèn)題就是預(yù)抽真空問(wèn)題，目前常用的是干式螺桿真空泵，假如選用傳統(tǒng)的滑閥泵作前級(jí)泵則存在下列問(wèn)題：

非耀無(wú)油螺桿真空泵

首先是滑閥泵在高進(jìn)口壓力下長(zhǎng)時(shí)間運(yùn)轉(zhuǎn)，因?yàn)闅饬鲙еЧ?，其噴油現(xiàn)象非常嚴(yán)峻，一是糟蹋很多昂貴的油，二是污染環(huán)境。因?yàn)楸怀闅怏w中含有很多的水蒸氣或氮氧化物，這些氣體一旦進(jìn)入泵內(nèi)會(huì)使真空泵油敏捷乳化變質(zhì)，油的密封性損壞，導(dǎo)致真空功能下降，乃至使泵毀壞。需求裝備泵的數(shù)量多，并且滑閥泵的振蕩、噪聲也大。干式螺桿真空泵因?yàn)榫哂星鍧崯o(wú)油、抽速大、振蕩小、噪聲低等長(zhǎng)處，已成為大型空間模仿真空體系的優(yōu)選產(chǎn)品。為了進(jìn)步提高真空機(jī)組的抽速和真空度并相應(yīng)的減小真空機(jī)組的尺寸，一般都是選用一臺(tái)羅茨真空泵與螺桿真空泵串聯(lián)構(gòu)成的二級(jí)羅茨真空泵機(jī)組或二臺(tái)羅茨真空泵與螺桿真空泵串聯(lián)構(gòu)成的三級(jí)羅茨真空泵機(jī)組。為避免顆粒雜質(zhì)進(jìn)入泵內(nèi)，在真空機(jī)組進(jìn)口均裝備進(jìn)口過(guò)濾器。

制藥廠用無(wú)油螺桿真空泵機(jī)組

而使用干式螺桿真空泵冷凝體系，能夠使干燥進(jìn)程中的溶媒在排氣側(cè)冷凝，完成溶劑的收回，以及廢水廢液的零排放，因?yàn)榉且輻U真空泵泵腔內(nèi)無(wú)任何其他工藝介質(zhì)，內(nèi)部外表均采納涂層的防腐辦法，既節(jié)能又環(huán)保。所以非耀螺桿真空泵在其他行業(yè)上也深受歡迎。