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在半導(dǎo)體產(chǎn)品的制造過(guò)程中，所需要的真空系統(tǒng)需要具有去除腐蝕性氣體、粉塵顆粒物、有毒氣體等這些功能。因此，油封機(jī)械泵不能滿足半導(dǎo)體行業(yè)的需要。在半導(dǎo)體行業(yè)的驅(qū)動(dòng)下，干式真空泵出現(xiàn)于20世紀(jì)80年代。由于目前下游集成電路、光伏、LED等這些行業(yè)的可持續(xù)發(fā)展和進(jìn)步，干式真空泵的產(chǎn)品類(lèi)型也不斷增加，性能、控制集成度等指標(biāo)參數(shù)也有比較明顯的提高。截至目前，干式螺桿真空泵已用于發(fā)達(dá)國(guó)家的半導(dǎo)體相關(guān)行業(yè)。近年來(lái)，我國(guó)也出現(xiàn)了干式真空泵取代油泵的明顯趨勢(shì)。干式真空泵已基本用于國(guó)內(nèi)半導(dǎo)體行業(yè)。

無(wú)油螺桿真空泵用在化工反應(yīng)釜抽真空

干式螺桿真空泵工作時(shí)，無(wú)摩擦，運(yùn)行平穩(wěn)，噪音低，工作室無(wú)潤(rùn)滑油。因此，螺桿真空泵可以去除大量的水蒸氣和少量的灰塵。由于螺桿形成了螺距結(jié)構(gòu)，與等螺距結(jié)構(gòu)相比，真空度上限更高，功耗更低，具有節(jié)能、免維護(hù)等優(yōu)點(diǎn)。是油封真空泵的更新產(chǎn)品。

除了半導(dǎo)體行業(yè)之外，制藥、化工、食品行業(yè)對(duì)真空泵的需求量也是比較大的，在過(guò)去的時(shí)候很多行業(yè)使用油封機(jī)械泵會(huì)產(chǎn)生油污染。近年來(lái)，國(guó)家高度重視環(huán)境保護(hù)，因?yàn)槭褂酶墒铰輻U真空泵可以在工作中減少油污染，而且使用干式真空泵還可以實(shí)現(xiàn)溶解媒體的回收，提高利用率，因此制藥、化工、食品等行業(yè)，用干式真空泵來(lái)取代原油封機(jī)械泵，這些行業(yè)對(duì)干式真空泵有大量新的需求。