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干式螺桿泵又稱(chēng)無(wú)油螺桿泵，無(wú)油無(wú)水干式運(yùn)行的特性，在很多應(yīng)用場(chǎng)合達(dá)到了理想的使用效果，工作容積中無(wú)油，更加耐用，可靠。那么一起來(lái)看看，干式螺桿泵應(yīng)用具體都有哪些吧。

圖片標(biāo)簽：干式螺桿泵應(yīng)用

1、用于低壓化學(xué)氣相沉積中的多晶硅制備工藝中。

2、干式螺桿泵用于半導(dǎo)體刻蝕工藝。在這些生產(chǎn)工藝中往往用到或生成腐蝕性氣體和研磨微粒。

3、除半導(dǎo)體工藝外的某些產(chǎn)生微粒的工藝，不希望微?；烊氡糜椭校Ｍ⒘Ｅ懦霰猛?，則用干式螺桿真空泵可以滿足要求。

4、干式螺桿泵應(yīng)用于化學(xué)工業(yè)、醫(yī)藥工業(yè)、食品工業(yè)中的蒸餾、干燥、脫泡、包裝等，防止溶劑造成污染。

5、無(wú)油螺桿泵也可以用做一般無(wú)油清潔真空系統(tǒng)的前級(jí)泵，以防止油污染。

干式螺桿泵應(yīng)用在多個(gè)領(lǐng)域中，維護(hù)少，更加省時(shí)省力，同時(shí)也減少了污染的危害。杭州非耀真空泵生產(chǎn)廠研發(fā)制造的螺桿真空泵，真空度高，單泵可替代三級(jí)羅茨泵水環(huán)真空泵機(jī)組，運(yùn)行穩(wěn)定，占地面積小。