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現(xiàn)在市場上提供的節(jié)能干式真空泵種類很多。就其基本原理來分，只有兩類，即:
① 容積式的無油真空泵，例如多級羅茨泵、爪型泵、往復(fù)式活塞泵、無油螺桿真空泵和渦旋式泵等。這種節(jié)能干式真空泵的壓力一般為0.1～10Pa。
② 動量傳輸式的無油真空泵，如渦輪式無油泵。排氣側(cè)與大氣相接，在連續(xù)流狀態(tài)下壓縮比較高。在結(jié)構(gòu)上采用徑向流和周向流泵的復(fù)合式結(jié)構(gòu)，多級串聯(lián)抽氣。這種渦輪式泵的壓力約為10-2Pa。牽引型節(jié)能干式真空泵也屬于動量傳輸式的干式真空泵。
杭州非耀節(jié)能干式真空泵和油封式機(jī)械泵相比，達(dá)到同樣的壓力，其殘余氣體成分則全然不同，經(jīng)分析結(jié)果明，油封泵的殘余氣體，CnHm 氣體(碳?xì)浠衔餁怏w)為其主要成分，而干式泵的殘余氣體為空氣的組成成分。這就證實了干式真空泵的抽氣不會再有油的污染了。
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